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石墨发热体

石墨发热体(graphite heater)是指用石墨材料制成的电炉加热发热体部件。石墨具有优良的导电、导热性能,在特种工业炉为电炉中常用石墨作为发热体。工业电

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石墨发热体(graphite heater)是指用石墨材料制成的电炉加热发热体部件。石墨具有优良的导电、导热性能,在特种工业炉为电炉中常用石墨作为发热体。工业电炉中早期选用石墨电极做发热体,后选用密度高的高功率电极作发热体。半导体工业发展,提炼单晶硅、单晶锗,砷化镓、磷话铟等材料的加热炉选择高纯细结构石墨和各向同性石墨作发热体。一些特殊的工业路和试验炉用炭布或石墨布作发热体。

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